ASMI收购美国射频公司，用于亚7纳米技术
荷兰半导体设备供应商ASM国际公司收购了美国射频匹配子系统供应商雷诺子系统。
Reno总部位于新泽西州，设计和销售射频匹配子系统。匹配网络和射频发生器将用于ASM的等离子体工具。
雷诺已经开发了一系列专利过程控制技术，用于匹配和瞬时功率的半导体制造在14nm及以下。最新的GenMatch系统将雷诺的固态电子可变电容(EVC)射频匹配和Precis发生器技术集成到单个单元中，用于7nm及以下工艺技术的蚀刻和沉积。该系统的占地面积类似于单独的匹配，节省了加工工具的空间，而且更快，更可重复，更可靠，拥有成本更低。
GenMatch平台覆盖功率从500W到10kW，频率从400kHz到60MHz。发生器支持级对级脉冲，而射频匹配网络匹配每个脉冲上的阻抗，这意味着每个晶圆看到相同的频率，不像频率扫描。人工智能和机器学习使用匹配网络的广泛传感器和采样能力进一步增强了系统性能。
专有的双级外差电路，从控制电路的探测器级实现更快的回转速率响应。这提供了一个相当精确的脉冲射频信号测量。
在射频匹配网络的输出端检测快速瞬变，避免了蚀刻或沉积工具无法识别的等离子体腔内微弧问题。然后，射频发生器可以控制对腔室的功率以消除微弧。
与标准频率调谐方法相比，该系统包括完全调谐等离子体阻抗的选项，标准频率调谐方法只能调谐有限的等离子体阻抗，然后只能调谐等离子体阻抗的反应部分。
该组合系统节省了加工工具的空间，只需要一个位置的电和水等。全数字单元允许多种通信协议，以太网，EtherCAT和DeviceNet。
“雷诺在将新型射频匹配技术推向市场方面有着良好的记录，GenMatch也不例外，”雷诺业务发展高级副总裁John Voltz说。“我们EVC全固态匹配的高可靠性等同于射频发生器的可靠性，现在将两者放在同一个包中是经济的。GenMatch是一款真正的射频电源系统，提供即插即用性能，在先进半导体制造业的等离子处理领域尚属首次。”
由于其规模有限，此次收购预计不会对2022年的收益产生重大影响。
