荷兰半导体设备供应商ASM International收购了RENO子系统，这是美国RF匹配子系统的供应商。

总部位于新泽西州的里诺（Reno）设计和出售RF匹配子系统。匹配的网络和RF生成器将用于ASM的等离子工具。

里诺（Reno）开发了一系列专利的工艺控制技术，用于在14nm及以下的半导体制造中匹配和瞬时功率。最新的GenMatch系统将Reno的固态电子可变电容器（EVC）RF匹配和Precis Generator技术集成到7nm Process Technologies及以下的单个单元中。该系统的占地面积类似于比赛，节省了流程工具上的空间，并且更快，更可重复，更可靠，拥有成本较低。

GenMatch平台涵盖了从500W到10kW的功率，频率从400kHz到60MHz。发电机支持水平到级别的脉冲，而RF匹配网络在每个脉冲上的阻抗匹配，这意味着每个晶圆的频率都相同，与频率扫描不同。使用匹配网络的广泛传感器和采样能力的AI和机器学习进一步增强了系统性能。

专有的双阶段杂型电路，可从控制电路的检测器阶段产生更快的回动作响应。这为脉冲RF信号提供了更准确的测量。

在RF匹配网络的输出处检测快速瞬变，避免了在等离子体室中微型锻炼的问题，而蚀刻或沉积工具将永远无法识别。然后，RF发电机可以控制腔室的电源以消除微型锻炼。

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