柔性BICMOS基板,具有简化的轧制生产过程

2017年10月4日//通过尼克弗莱赫蒂
柔性BICMOS基板,具有简化的轧制生产过程
美国和中国的研究人员已经开发了具有Bicmos薄膜晶体管的第一柔性基板。

威斯康星大学 - 麦迪逊和南京大学的团队还简化了卷到卷生产系统的制造过程。

基板是在一块可弯曲的塑料基板上厚的可转移的单晶Si纳米膜(Si nm)340nm。使用低成本过程将平面1.5μmn沟道和p沟道MOSFET和NPN双极结晶体管(Bjts)植入硅中,通过将必要的离子注入步骤序列与精心挑选的能量,剂量和退火条件,并结合所有三种类型的晶体管否则提供的一些处理步骤。

所有类型的TFT都证明了优异的直流和射频(RF)特性,并在弯曲(Jack)Ma教授(Jack)Ma,Lynn H. Matthias教授在工程和Vilas大学大学的成就教授威斯康星州 - 麦迪逊(如上所示)

制造过程包括三个主要步骤:多重离子注入,转印印刷和微制造。在这些步骤中,精确的离子注入和随后的高温退火是使得能够使流动性BICMOS TFT的关键过程。

NMOS和PMOS TFT的物理栅极长度,栅极宽度(WG)和有效栅极(通道)长度(LG)分别为2,25和1.5μm,输出从0V到2.4V,从45MHz到20GHz。

wisned.ece.wisc.edu.

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