CEA-Leti和米兰理工大学开发了世界上最小占地面积的mems导航陀螺仪。
法国研究实验室CEA-Leti与意大利米兰理工大学合作，利用纳米电阻传感技术开发了一种占地面积为1.3平方毫米的MEMS陀螺仪传感器。
为了达到更小的尺寸，偏差不稳定性和角随机游走的关键参数需要比商业MEMS陀螺仪提高几个数量级。研究结果发表在论文，“1.3 mm2导航级nems陀螺仪”，发表在《微机电系统杂志》上。
陀螺仪与标准MEMS铸造厂兼容，适用于汽车行业等大容量市场。该团队正在研究三轴陀螺仪协整。
CEA-Leti的MEMS业务发展经理Philippe Robert表示:“这种性能的提高不能带来高成本，因此该设备将在大容量市场上具有竞争力，如汽车和消费市场。”陀螺仪每测量轴不超过2平方毫米，使用标准MEMS技术和圆片级真空封装。该团队还确保共振频率大于25kHz，以承受常规振动环境。
Robert说:“这种结构使MEMS陀螺仪在整体性能、尺寸和谐振频率方面达到了一流水平，而我们突破性的1.3平方毫米高频器件在噪声、偏置稳定性、标度范围和带宽方面已经达到了最先进的性能。”“目前正在调查几项设计和技术改进。”
这些陀螺仪在CEA-Leti的硅导线上制造，可以与高性能三轴加速度计和气压传感器协同集成。该研究所表示，由于它与大多数MEMS铸造工艺兼容，该技术可能在两年内进入市场。
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